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update 2011.7.29

微波及光電元件實驗室
Microwave and Optoelectronic Devices Laboratory
近年來,隨著磊晶成長系統快速的進步,例如有機金屬化學氣相沈積系統(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)及分子束磊晶成長系統(Molecular Beam Epitaxy, MBE),使得各種新穎的異質接面結構陸續研發成功。由於化合物半導體與生俱來的特性,以及磊晶和製程技術的蓬勃發展,使得化合物半導體成為在微波通訊及光電產業不可或缺的材料。

多年來,本實驗室的研究領域著重在MOCVD磊晶、材料分析、元件設計、元件量測以及其特性分析,分別簡述如下:

本實驗室研究領域 :
No.  
(一) 三五族化合物半導體材料

AlGaAs/GaAs,InGaP/GaAs,InAlGaP/GaAs,InAlAs/InGaAs/InP以及 InAlAsSb/InP等異質材料系統

(二) (1) 微波元件:
  (a) 實空間傳輸元件 (Real-Space Transfer Devices)
  (b) 高電子移動率電晶體 (High-Electron Mobility Transistor)
  (c) 異質接面雙極性電晶體 (Heterojunction Bipolar Transistor)
  (2) 光電元件:
  (a) 發光二極體 (Light-Emitting Diode)
  (b) 光檢測器 (Photodetector)
實驗設備 :
半導體特性量測系統 (KEITHLEY 4200-SCS)

Probe Station

Heating System for Probe Station

CCD Displays

熱阻式蒸鍍系統

研磨拋光機

Hall Effect Measurement System

   
Copyright © 2005 Association of Yu-Shyan Lin amended in 2011